技術編號：6414192
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及在半導體制造設備控制系統(tǒng)中對設備單元狀態(tài)進行控制的方法，特別是這樣的在半導體制造設備控制系統(tǒng)中對設備單元狀態(tài)進行控制的方法，其中單元狀態(tài)變化監(jiān)視模塊包括在主計算機中，由此可以防止實際的單元狀態(tài)數據與存儲于主計算機中的單元狀態(tài)數據之間不一致。因而，可以明顯地提高在控制設備生產率上的整體效率。通常，通過高精度工藝來制造半導體器件。為了此高精度工藝，在半導體生產線設置高功能設備。由操作者通過控制系統(tǒng)對各設備的運行進行精心地監(jiān)視，以便可以提高生產線上的操...
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