技術(shù)編號(hào)：64085
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及對(duì)在半導(dǎo)體晶片上形成的結(jié)構(gòu)的計(jì)量(metrology)，尤其涉及使用機(jī)器學(xué)習(xí)系統(tǒng)的對(duì)在半導(dǎo)體晶片上形成的結(jié)構(gòu)的計(jì)量。 背景技術(shù)光學(xué)計(jì)量包括將入射束引向結(jié)構(gòu)；測(cè)量得到的衍射束；分析衍射束以確定結(jié)構(gòu)的特征。在半導(dǎo)體制造中，光學(xué)計(jì)量一般用于質(zhì)量保證。例如，在制造接近半導(dǎo)體晶片上的半導(dǎo)體芯片的周期性格柵(periodic grating)之后，光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)用于確定周期性格柵的剖面(profile)。通過確定周期性格柵的剖面，可以評(píng)價(jià)用于形成周期性格柵的制造方法的質(zhì)量，并且，通過延伸，可以評(píng)價(jià)接近周期性格...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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