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臥式原子力顯微鏡探頭的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):63675

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種原子力顯微鏡探頭,用于微/納米材料和器件的納米檢測,尤其涉及一種臥式原子力顯微鏡探頭。 背景技術(shù)納米技術(shù)是二十世紀(jì)八十年代發(fā)展起來的高新科技。各發(fā)達(dá)國家都將納米技術(shù)作為二十一世紀(jì)新的產(chǎn)業(yè)革命的核心,我國也在科技發(fā)展戰(zhàn)略中將納米技術(shù)列為優(yōu)先發(fā)展的領(lǐng)域。以掃描隧道顯微鏡(STM)與原子力顯微鏡(AFM)為代表的掃描探針顯微鏡(SPM)技術(shù)和納米檢測技術(shù),是納米技術(shù)發(fā)展的重要基礎(chǔ)。而在SPM家族中,又以AFM的應(yīng)用領(lǐng)域更為廣泛,因?yàn)榇蠖鄶?shù)納米材料均為非導(dǎo)體樣品。目前,國際上AFM儀器的應(yīng)用較為...
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