技術(shù)編號:6362031
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本公開涉及顯示設(shè)備,包括但不限于結(jié)合有多功能觸摸屏的顯示設(shè)備。相關(guān)技術(shù)描述機電系統(tǒng)(EMS)包括具有電氣及機械元件、致動器、換能器、傳感器、光學(xué)組件(包括鏡子)以及電子器件的設(shè)備。機電系統(tǒng)可以在各種尺度上制造,包括但不限于微米尺度和納米尺度。例如,微機電系統(tǒng)(MEMS)器件可包括具有范圍從大約一微米到數(shù)百微米或以上的大小的結(jié)構(gòu)。納米機電系統(tǒng)(NEMS)器件可包括具有小于一微米的大小(包括,例如小于幾百納米的大小)的結(jié)構(gòu)。機電元件可使用沉積、蝕刻、光刻和/或...
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