技術(shù)編號(hào)：6322584
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及靜電夾鉗。本發(fā)明具體涉及用于優(yōu)化靜電夾鉗操作的系統(tǒng)或方法。 背景技術(shù)靜電夾鉗用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，為了在晶片上執(zhí)行各種工藝時(shí)牢固地固定硅晶片。 相對(duì)于機(jī)械夾鉗，靜電夾鉗具有明顯的優(yōu)勢(shì)，包括(a)增加熱傳遞能力，(b)減小導(dǎo)致破片 和其它機(jī)械缺陷的晶片上的機(jī)械磨損，(c)增加晶片可用于生產(chǎn)可銷售產(chǎn)品的有效面積； (d)減少產(chǎn)生微粒的數(shù)量；(e)減小來自濺射中使用的離子束夾鉗的污染；以及(f)使跨過 晶片表面的夾緊力均勻。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不是唯一使用靜電夾鉗的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。