技術編號：6294431
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種溫度控制系統(tǒng)(1)，其中，該溫度控制系統(tǒng)(1)包括第1調溫單元，其用于貯藏第1溫度的液體；第2調溫單元，其用于貯藏比第1溫度高的第2溫度的液體；低溫流路(76)，其供來自第1調溫單元的流體流動；高溫流路(77)，其供來自第2調溫單元的流體流動；旁路流路(73)，其用于使流體循環(huán)；結合流路(71)，其供在合流部(PA)處使來自低溫流路、高溫流路以及旁路流路這三個流路的流體合流后的流體流動；調溫部(70)，其供來自結合流路的流體流動，對在半導體制...
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