技術編號：6294275
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種用于將不合規(guī)格氣體混合物的濃度調節(jié)到目標濃度的動態(tài)氣體混合方法，該方法包括以下步驟將不合規(guī)格氣體混合物回收到混合器的上游，其中不合規(guī)格氣體混合物以不合規(guī)格濃度含有氣體組分；利用第一流量控制裝置來調節(jié)活性氣體的流速；其中活性氣體以大于不合規(guī)格濃度的濃度含有氣體組分；利用第二流量控制裝置來控制平衡氣體的流速，并且使不合規(guī)格氣體混合物與活性氣體和平衡氣體進行再混合以便產生處于目標濃度的最終混合氣體。專利說明CN 103502903 A書明說1/12 頁動態(tài)氣...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。