技術(shù)編號：6293708
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備機臺質(zhì)量監(jiān)控方法及系統(tǒng)，該方法包括S1、自動獲取前一次工藝中機臺質(zhì)量監(jiān)控的前值數(shù)據(jù)和后一次工藝中機臺質(zhì)量監(jiān)控的后值數(shù)據(jù)；S2、將前值數(shù)據(jù)和后值數(shù)據(jù)對應(yīng)生成前值圖和后值圖；S3、對前值圖和后值圖進行疊圖計算，得到疊圖以及對應(yīng)的疊圖值；S4、比較疊圖值與系統(tǒng)預(yù)設(shè)的閾值spec，若疊圖值小于或等于spec，則判定機臺正常；若疊圖值大于spec，則判定機臺異常，機臺停止作業(yè)。本發(fā)明能夠?qū)崟r收集數(shù)據(jù)并進行自動監(jiān)控，收集的數(shù)據(jù)準確完整，消除了...
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