技術(shù)編號(hào):6290779
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及數(shù)據(jù)采集處理,特別是涉及一種工藝過(guò)程中故障檢測(cè) 的方法和系統(tǒng)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體加工工業(yè)中,隨著加工的技術(shù)節(jié)點(diǎn)越來(lái)越小,對(duì)晶片加工的要求 越來(lái)越高,因此各種先進(jìn)的控制手段逐漸被用在半導(dǎo)體加工工業(yè)。例如先進(jìn)工藝控制(Advanced Process Control )方法目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于300mm晶片加 工廠中。而各種工藝控制解決方案一般都會(huì)包括故障檢測(cè)。其中,故障檢測(cè)可以利 用各種硬件傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控的數(shù)據(jù),使用統(tǒng)計(jì)等方法對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,及時(shí)發(fā) 現(xiàn)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。