技術(shù)編號(hào)：6287962
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及微電子加工設(shè)備，是一種保證真空室內(nèi)壓力穩(wěn)定 的自動(dòng)壓力控制器。 背景技術(shù)在大多以低溫等離子體為工藝手段進(jìn)行微細(xì)加工的微電子技術(shù)設(shè)備中，需 要在反應(yīng)室中建立真空環(huán)境，并對(duì)反應(yīng)室中的工藝氣體壓力進(jìn)行控制，以保證 工藝過程順利進(jìn)行。在上游式壓力控制的過程中，需要對(duì)反應(yīng)室進(jìn)行充氣來完成對(duì)真空室中的 壓力進(jìn)行控制，但如果所充氣體不是所需工藝氣體，則可能會(huì)給樣品帶來雜質(zhì)。 如果改變工藝氣體的質(zhì)量流量，也會(huì)影響樣品的質(zhì)量。實(shí)用新型內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。