技術(shù)編號(hào)：6279014
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及結(jié)構(gòu)為在沿一個(gè)方向平移驅(qū)動(dòng)移動(dòng)體(載物臺(tái))的兩端時(shí)抑制移動(dòng)體的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的移動(dòng)體位置控制裝置以及使用了該控制裝置的載物臺(tái)裝置。背景技術(shù) 例如稱為XY載物臺(tái)裝置的裝置的結(jié)構(gòu)為，沿Y方向移動(dòng)的Y載物臺(tái)上安裝有在沿X方向移動(dòng)的X載物臺(tái)，設(shè)置有控制各載物臺(tái)(移動(dòng)體)的移動(dòng)位置的移動(dòng)體位置控制裝置。并且，在這種裝置中，有稱為龍門移動(dòng)型載物臺(tái)裝置的裝置，其結(jié)構(gòu)為門型第1移動(dòng)體(Y載物臺(tái))以一定的速度在吸著在臺(tái)子上的基板的上方移動(dòng)(參照例如專利文獻(xiàn)1)。上述第1...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。