技術(shù)編號：6277598
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)及概要本發(fā)明一般涉及半導(dǎo)體加工，具體與超純液體試劑的精細(xì)混合有關(guān)?，F(xiàn)場超純純化本發(fā)明人業(yè)已提出一種制備超高純液體試劑(包括HF，HCl，NH4OH，NH4F及HNO3水溶液)的方法，該法在一個(gè)位于半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)現(xiàn)場的現(xiàn)場系統(tǒng)內(nèi)實(shí)施。以氨氣為例，具體實(shí)施方法是自液體氨儲(chǔ)存容器采出氨蒸汽，隨后以高pH純化水(優(yōu)選與氨蒸汽平衡后的超純除離子水)洗滌濾后蒸汽。該發(fā)現(xiàn)可將工業(yè)級氨轉(zhuǎn)變?yōu)檫m合高精密制造的高純氨，而省卻常規(guī)的塔精餾。由儲(chǔ)存容器采出氨蒸汽本身起到單...
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