技術(shù)編號：6274057
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造，涉及一種通過主動(dòng)隔振系統(tǒng)控制光學(xué)平臺Z方向的方法及結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)機(jī)械設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)的過程中，由于各種激振因素的存在，產(chǎn)生振動(dòng)是不可避免的。振動(dòng)不僅影響極機(jī)器本身的工作性能、降低精度、降低效率、縮短壽命甚至產(chǎn)生破壞。因此，采用有效的隔振措施是現(xiàn)代工業(yè)備受關(guān)注的問題。而在半導(dǎo)體制造中，對振動(dòng)控制提出了更高的要求，為了隔離振動(dòng)，提出了主動(dòng)隔振系統(tǒng)(Active Vibration Isolation System, AVIS)。AVIS 可以將光...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。