技術(shù)編號：6270932
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工處理方法，特別涉及半導(dǎo)體集群設(shè)備加工數(shù)據(jù)的處理方法。背景技術(shù) 半導(dǎo)體標準(SEMI)中給集群設(shè)備(Cluster Tool)所下的定義是由物理上連接在一起的，可以用來處理不同工藝模塊和傳輸模塊的集成制造系統(tǒng)。每一個工藝模塊和傳輸模塊都由相應(yīng)的控制器進行控制，而這些模塊控制器通過接口模塊連接成一個有機的整體。半導(dǎo)體集群設(shè)備控制軟件系統(tǒng)包含三大模塊集群設(shè)備控制器(CTC，Cluster Tool Controller)、工藝模塊控制器(PM...
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