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運送裝置設(shè)計支持系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6265436

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本發(fā)明涉及一種運送裝置設(shè)計支持系統(tǒng),特別涉及到去除根據(jù)所要求的運送路徑及運送能力做出的運送裝置的設(shè)計和實際運轉(zhuǎn)狀態(tài)之間的背離、并且從設(shè)計階段順利過渡到實際運轉(zhuǎn)階段所需的運送裝置設(shè)計支持系統(tǒng)。背景技術(shù) 以往,運送裝置根據(jù)所要求的運送路徑及運送能力進行設(shè)計,制造構(gòu)成運送裝置的各個實際設(shè)備,并在分別測試實際設(shè)備的性能之后,將實際設(shè)備搬運到實際運轉(zhuǎn)環(huán)境中,來構(gòu)建實際運轉(zhuǎn)環(huán)境??墒?,在液晶和半導(dǎo)體的制造工藝中,多次反復(fù)進行清洗、制膜、涂敷、暴光、顯影、蝕刻、抗蝕劑脫...
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