技術(shù)編號(hào)：6254721
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種具有雙反射鏡的微型原子氣體腔器件及其制造方法。所述的原子氣體腔具有典型的三明治結(jié)構(gòu)，由一層具有通孔的硅片和兩層內(nèi)部分別帶有反射鏡的玻璃片鍵合圍成的腔體結(jié)構(gòu)構(gòu)成。所述的通孔由硅的干法刻蝕或濕法腐蝕工藝進(jìn)行雙面加工完成。兩層玻璃片與帶通孔的硅片通過硅-玻璃陽極鍵合后形成原子氣體腔器件。本實(shí)用新型所述的原子氣體腔器件可用于原子鐘和磁強(qiáng)計(jì)等系統(tǒng)中，激光在雙反射鏡間進(jìn)行多次反射，從而增加激光與原子氣體間的相互作用空間長度，使相干布局囚禁效應(yīng)信號(hào)的信...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。