技術(shù)編號：6253276
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明揭示了一種提高第三軸感應(yīng)能力的磁傳感器及其制備工藝，制備工藝包括在基底上形成溝槽陣列；沉積第一磁性材料；沉積第一介質(zhì)材料；沉積第二介質(zhì)材料；通過光刻工藝，形成磁傳感單元圖形；沉積第三介質(zhì)材料，形成第三介質(zhì)材料層，溝槽被部分填充；沉積第二磁性材料，形成第二磁性材料層；通過刻蝕工藝回刻平面上的部分或全部第二磁性材料層,保留溝槽里面的第二磁性材料；沉積第四介質(zhì)材料；制造通孔和電極。本發(fā)明提出的提高第三軸感應(yīng)能力的磁傳感器及其制備工藝，可提高第三軸的磁性材料...
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