技術(shù)編號：6247964
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供一種基于（111）單晶硅片的高諧振頻率高沖擊加速度計及制作方法，所述加速度計包括（111）單晶硅基底和集成于單晶硅基底一面的固支板、微梁與力敏電阻。該單晶硅基底上所有功能部件均位于所述單晶硅基底的一面，所述單晶硅基底的另一面不參與工藝制作，加工后的芯片具有尺寸小、工藝簡單、成本低的特點，適合大批量生產(chǎn)。同時，所述加速度計實現(xiàn)了高g值、高頻響、高帶寬的測量要求，大大改善了加速度計的動態(tài)測量特性。專利說明基于(111)單晶硅片的高諧振頻率高沖擊加速度...
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