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多光束光學(xué)厚膜監(jiān)測(cè)儀的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6245392

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本發(fā)明涉及一種多光束光學(xué)厚膜監(jiān)測(cè)儀,它屬于一種光學(xué)鍍膜實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備。本發(fā)明主要是解決現(xiàn)有的光學(xué)膜厚儀存在的監(jiān)控點(diǎn)少、監(jiān)控精度低且監(jiān)控效率差的技術(shù)問題。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是多光束光學(xué)厚膜監(jiān)測(cè)儀,它包括單色儀、光電探測(cè)器、信號(hào)放大器、控制計(jì)算機(jī)、位置觸發(fā)電路和會(huì)聚透鏡,其中它還包括一個(gè)鹵鎢燈;一個(gè)旋轉(zhuǎn)斬光器旋轉(zhuǎn)斬光器設(shè)在一個(gè)旋轉(zhuǎn)托盤上并且能以鹵鎢燈燈絲為中心旋轉(zhuǎn);至少三個(gè)光纖光路每一個(gè)光纖光路由透鏡和光纖組成;基板支架基板支架設(shè)在旋轉(zhuǎn)斬光器的下方,監(jiān)控點(diǎn)設(shè)在...
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