技術(shù)編號：6244135
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。，涉及一種動壓馬達(dá)氣膜間隙測量裝置及方法。解決了目前電容傳感器測量工作距離小、激光三角傳感器測量精度受限的問題。本發(fā)明裝置主要包括干涉系統(tǒng)、正交光柵分光以及移相裝置、圖像采集系統(tǒng)；該裝置分別用圓光斑與條形光斑作軸/徑向測量光斑，正交龍基光柵實現(xiàn)分光，四象限偏振片實現(xiàn)移相，CCD進(jìn)行圖像采集。本發(fā)明方案將該裝置探頭相對待測動壓馬達(dá)軸/徑向測量面保持一定距離垂直固定，利用同步移相干涉原理、光柵衍射分光理論、偏振移相特性以及圖像采集原理，測量出動壓馬達(dá)氣膜剛度變...
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