技術(shù)編號:6241291
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種基于蝎子蠱毛流量感知機(jī)理的氣體微流量檢測裝置,是由類蠱毛毛桿、類蠱毛基部、類蠱毛座、彈性連接膜、第一電極引線和第二電極引線構(gòu)成,類蠱毛毛桿與類蠱毛基部裝配成一體,形成類蠱毛結(jié)構(gòu);類蠱毛基部下半部分具有導(dǎo)電涂層,類蠱毛基部安裝在類蠱毛座與彈性連接膜裝配后的類球形腔內(nèi);第一電極引線嵌入彈性連接膜表面,當(dāng)類蠱毛結(jié)構(gòu)擺動時(shí)與類蠱毛基部的導(dǎo)電涂層接通;類蠱毛座的半球形凹槽正好能支撐類蠱毛基部在其內(nèi)自由擺動,類蠱毛基部裝配到類蠱毛座中兩者形成等效角位移...
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