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一種在位表面形貌檢測工作臺的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6238409

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本發(fā)明公開了一種在位表面形貌檢測工作臺,包括機(jī)座和顯微鏡,機(jī)座包括下底板和上框體,上框體為其上端呈開口狀的中空框體,上框體以可下底板的前后方向平移滑動(dòng)的方式架設(shè)在下底板的上表面上方,下底板的前側(cè)或后側(cè)設(shè)有控制上框體前后滑行的X軸平移驅(qū)動(dòng)裝置,上框體的上端端面上架設(shè)有可沿上框體左右平移的放置平臺,且上框體內(nèi)設(shè)有控制放置平臺左右移動(dòng)的Y軸平移驅(qū)動(dòng)裝置,放置平臺上豎設(shè)有安裝立柱,安裝立柱上設(shè)有可上下移動(dòng)的安裝塊,顯微鏡安裝在上述安裝塊上,安裝立柱上安裝有控制安裝...
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