技術(shù)編號：6237212
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種改進的制備TEM樣本的方法。從工件提取樣本，并且樣本附著到探針以運送到樣本支架。樣本使用帶電粒子束沉積而被附著到樣本支架，并且通過在不使用帶電粒子束切斷該連接的情況下使探針和樣本支架相對于彼此移動而被以機械方式與探針分離。專利說明在樣本制備期間從TEM樣本拆下探針 [0001]本發(fā)明涉及用于透射電子顯微鏡的樣本的制備，具體地講，涉及使用聚焦離子束在真空室中制備樣本。 背景技術(shù) [0002]隨著半導(dǎo)體幾何形狀持續(xù)縮小，制造越來越依賴于透射電子顯...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。