技術編號：6236867
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供了，包括一個單晶硅基底、十六個均勻分布式電極、兩個對稱的微型半球諧振子、一個中心固定支撐柱，其中中心固定支撐柱的上下兩端分別連接兩個微型半球諧振子，每個微型半球諧振子周圍均勻分布八個電極；兩個微型半球諧振子具有相同的中心軸，彼此獨立、互不影響。本發(fā)明采用靜電驅動的方式分別激勵兩個微型半球諧振子工作，驅動模態(tài)和檢測模態(tài)分別相互匹配。本發(fā)明結合MEMS體硅加工工藝和表面硅加工工藝進行制作。本發(fā)明通過差分處理的方式減小離心力、向心力、共模噪聲、二次非線...
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