技術(shù)編號：6234698
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氣體檢測，公開了一種MEMS氣體傳感器及其加工方法，包括單晶硅襯底；多孔硅層，形成于單晶硅襯底的上表面且具有一定深度，多孔硅層的上表面及孔壁表面形成有二氧化硅薄膜，且多孔硅層與所述單晶硅襯底的上表面平齊；下絕緣層，覆蓋多孔硅層及所述單晶硅襯底的上表面；以及設(shè)置于下絕緣層上方的加熱層、上絕緣層及氣體敏感層。本發(fā)明的多孔硅層可以穩(wěn)定地支撐下絕緣層薄膜及其上的其他氣體傳感器元件，避免傳感器受力不均勻?qū)е碌淖冃纹屏鸭霸诟邷毓ぷ鲿r下絕緣層變形翹曲導(dǎo)致的加熱...
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