技術(shù)編號：6233189
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種基于碳納米管和高TCR細胞色素C復(fù)合的吸收敏感復(fù)合薄膜的THz探測結(jié)構(gòu)制備方法。該吸收敏感復(fù)合薄膜制備在太赫茲探測結(jié)構(gòu)的頂層。該復(fù)合薄膜利用了碳納米管的特殊光學性質(zhì)，能顯著增強探測結(jié)構(gòu)對THz波段輻射的吸收效率。同時因為細胞色素C具有很高的TCR,與非晶硅，氧化釩，金屬鈦，釔鋇銅氧化物等常用熱敏材料相比，細胞色素C具有更高的TCR值，其TCR為20％/K～38％/K，使該復(fù)合薄膜具有優(yōu)異的熱敏性能。因此該復(fù)合薄膜同時具有吸收層和敏感層的功能...
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