技術(shù)編號：6230050
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y加速度傳感器，包括密封連接的殼體和殼蓋，還包括壓電基片、壓電薄膜、基座和三個聲表面波諧振器，壓電薄膜設(shè)在壓電基片的上表面，基座固定在殼體內(nèi)的底面上，壓電基片的一端為固定端，另一端為懸伸端，壓電薄膜的一端和壓電基片的固定端均固定在基座上，且高于殼體內(nèi)的底面；至少有一個聲表面波諧振器設(shè)在壓電薄膜的上表面，剩余的聲表面諧振器設(shè)在壓電薄膜和壓電基片之間；三個聲表面波諧振器諧振頻率各不相同；三個聲表面波諧振器所產(chǎn)生的聲表...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。