技術(shù)編號：6226636
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種帶有柔性杠桿的MEMS諧振式電荷傳感器及其方法。它包括錨點、雙端固定音叉諧振單元、驅(qū)動電極、感應(yīng)電極、兩個柔性杠桿、電荷輸入端，雙端固定音叉諧振單元的一端與錨點相連，另一端與兩個柔性杠桿相連，所述的柔性杠桿包括相互連接的柔性杠桿支點、柔性杠桿輸入端、柔性杠桿輸出端，雙端固定音叉諧振單元與驅(qū)動電極、感應(yīng)電極相耦合，柔性杠桿與電荷輸入端相耦合。采用雙端固定音叉作為諧振單元，諧振時的能量損失??；通過柔性杠桿放大由輸入電荷引起的靜電力，增大諧振頻率...
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