技術編號：6220933
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種微機電系統(tǒng)（MEMS）裝置，包括至少兩個懸掛在襯底（30）之上的速度傳感器（20、50），并且被配置為平行于所述襯底（30）的表面（40）振蕩。與所述速度傳感器（20、50）中的至少一個通信的驅動元件（156、158）提供顯示驅動頻率的驅動信號(168)。一個或多個耦合彈簧結構（80、92、104、120）互連所述速度傳感器（20、50）。所述耦合彈簧結構在由所述耦合彈簧結構決定的驅動方向啟動速度傳感器（20、50）的振蕩。用于速度傳感器（20）的所述...
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