技術(shù)編號:6219752
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及。提供了監(jiān)視MEMS加速計(100)的操作的系統(tǒng)及方法。在這些實施例中,具有正向通路(114)的控制回路(112)耦合至MEMS加速計換能器(110),并提供了測試信號發(fā)生器(124)和測試信號檢測器(126)。測試信號發(fā)生器(124)被配置為生成測試信號并且在MEMS加速計換能器(110)的操作期間將該測試信號施加于控制回路(112)的正向通路(114)。測試信號檢測器(126)被配置為從該控制回路接收輸出信號并檢測該測試信號在輸出信號中的效果...
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