技術(shù)編號(hào):6217615
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了一種大口徑光學(xué)元件表面損傷檢測(cè)裝置。該裝置包括線陣相機(jī)組件,獲取光學(xué)元件表面局部低精度線陣圖像;顯微相機(jī)組件,獲取光學(xué)表面局部高精度面陣圖像;掃描聚焦組件,控制線陣相機(jī)組件和顯微相機(jī)組件對(duì)光學(xué)元件表面的掃描、定位和聚焦;專用夾具,對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行定位夾緊和姿態(tài)調(diào)整;數(shù)據(jù)采集處理器,進(jìn)行圖像采集處理分析和電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制。本發(fā)明還公開(kāi)一種元件損傷的快速定位方法。該方法通過(guò)在線陣圖像中指定感興趣損傷點(diǎn),將顯微相機(jī)組件的軸心快速移動(dòng)到損傷點(diǎn)位置。本發(fā)明能夠...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。