技術(shù)編號：6216048
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種能實(shí)現(xiàn)批量、穩(wěn)定、高效制備微納熱電偶探針前體的批量制備裝置，包括探針、電極、探針升降滑塊、探針升降導(dǎo)軌模組、模塊轉(zhuǎn)移工作臺(tái)、模塊轉(zhuǎn)移滑臺(tái)、模塊轉(zhuǎn)移導(dǎo)軌模組、電化學(xué)腐蝕模塊、清洗模塊、烘干模塊、絕緣層包覆模塊和主控制模塊。本發(fā)明采用模塊轉(zhuǎn)移工作臺(tái)一次能完成若干支微納熱電偶探針前體的制作，大大地提高了微納熱電偶探針前體的制作效率，采用U型腐蝕槽作為腐蝕溶液的容器，有效的避免了陰極電極產(chǎn)生的氣體造成腐蝕液擾動(dòng)對探針針尖形貌成型的不利效果，得到具有...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。