技術(shù)編號:6215216
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種驗(yàn)證LED白光芯片電壓高與ITO膜之間關(guān)系的方法,包括以下步驟1)選取測試中Vf1值高的異常芯片,首先將芯片浸泡氟化銨腐蝕液20~60sec以除去其鈍化層二氧化硅;2)將上述已經(jīng)去掉鈍化層二氧化硅的芯片,再進(jìn)行黃光P-SiO2光刻,黃光光刻完成后,浸泡ITO蝕刻液100~150sec,將其他地方的ITO膜去掉,去光阻后,重新進(jìn)行ITO蒸鍍;3)蒸鍍完成后,進(jìn)行黃光ITO光刻、再浸泡ITO蝕刻液蝕刻100~200sec,露出N電極及走道;4)去...
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