技術(shù)編號(hào)：6213890
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于發(fā)射和/或接收超聲波的電容微機(jī)械超聲換能器(CMUT)設(shè)備(1)，其包括至少一個(gè)CMUT單元(10)。所述CMUT單元(10)包括包括第一電極(22)的襯底(13)，包括第二電極(20)的膜(15)，在所述第一電極(22)與所述第二電極(20)之間的至少一個(gè)介電層(21、23)，以及形成在所述襯底(13)與所述膜(15)之間的腔(18)。所述CMUT設(shè)備(1)還包括工作偏壓源(25)，其用于在發(fā)射和/或接收超聲波期間，在所述第一電極(22...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。