技術(shù)編號:6210089
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型揭示了一種半導(dǎo)體氣體傳感器,包括基底,所述基底具有表面;設(shè)置在所述表面的信號感測電極,所述信號感測電極包括兩個導(dǎo)電電極、以及電性連接所述兩個導(dǎo)電電極的功能層;設(shè)置在所述表面的加熱電極,所述加熱電極與所述信號感測電極彼此絕緣,所述加熱電極環(huán)繞所述信號感測電極設(shè)置。本實用新型提供的半導(dǎo)體氣體傳感器,通過將加熱電極環(huán)繞信號感測電極設(shè)置,可以保證信號感測電極處于加熱電極產(chǎn)生的均勻熱場中,加熱效果穩(wěn)定,可以有效地提高傳感器的響應(yīng)速率。專利說明半導(dǎo)體氣體傳感...
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