技術(shù)編號：6207485
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開一種用于壓阻式壓力傳感器的敏感元件，包括杯形襯底、金屬電極層、二氧化硅隔離層，此二氧化硅隔離層與圓形基底層相背的表面設(shè)有至少四條摻硼P型微晶硅條；第一、第二摻硼P型微晶硅條為由若干根沿徑向排列的微晶硅電阻絲首尾連接組成，金屬電極層包括輸入電極區(qū)、輸出電極區(qū)和中間電極區(qū)，輸入電極區(qū)一端連接到第一摻硼P型微晶硅條一端，輸出電極區(qū)一端連接到第二摻硼P型微晶硅條一端，中間電極區(qū)兩端分別連接到相鄰所述第一、第二摻硼P型微晶硅條各自的另一端。本實用新型既...
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