技術(shù)編號(hào)：6207088
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于精密儀器與測(cè)量，特別是一種基于差動(dòng)象散離焦檢測(cè)的超精密三維瞄準(zhǔn)與測(cè)量傳感器。背景技術(shù)高精度測(cè)頭/傳感器是各種精密坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、測(cè)長(zhǎng)機(jī)、尺寸與形狀測(cè)量?jī)x的關(guān)鍵部件，近年來，隨著具有大深寬比的狹槽、深盲孔等內(nèi)腔體零件的廣泛應(yīng)用，對(duì)瞄準(zhǔn)與測(cè)量傳感器的可測(cè)深度和測(cè)量精度都提出了更高要求。掃描式傳感器具有精度高、可同時(shí)實(shí)現(xiàn)瞄準(zhǔn)與測(cè)量等突出優(yōu)點(diǎn)，是超精密測(cè)量?jī)x器與裝備的核心技術(shù)單元，國外嚴(yán)格禁運(yùn)。掃描式瞄準(zhǔn)與測(cè)量傳感器在原理上是采用檢測(cè)機(jī)構(gòu)與柔性位移傳遞機(jī)構(gòu)相...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。