技術(shù)編號：6202647
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種MEMS溫度補償式微波功率檢測裝置，屬于微電子機械系統(tǒng)領(lǐng)域。背景技術(shù)在微波技術(shù)發(fā)展中，微波功率是微波系統(tǒng)的三大重要參數(shù)之一。微波功率檢測在任何微波研究中是必不可少的?，F(xiàn)代無線通信系統(tǒng)發(fā)展要求微波功率傳感器能夠精確檢測微波功率。最常見的微波功率檢測器是主要基于seeback效應(yīng)，具有高靈敏度和響應(yīng)快的特點，如圖1和圖2所示，現(xiàn)有的MEMS微波功率傳感器由共面波導(dǎo)傳輸線1、氮化鉭電阻3、熱電堆4、砷化鎵襯底5和壓焊塊6。共面波導(dǎo)傳輸線I接收來自微...
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