技術編號：6200290
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型的目的在于提供一種可通過使玻璃基板穩(wěn)定地懸浮著進行搬送而抑制玻璃基板產生缺陷的玻璃基板搬送裝置。本實用新型的玻璃基板搬送裝置(100)包括基板懸浮單元(20)與基板搬送單元(30)?；鍛腋卧?20)包含多個沿著搬送方向(D1)隔以間隔而配置的浮動面板(22)。浮動面板(22)包含氣體噴出機構(22a)及基板對向面(22b)。氣體噴出機構(22a)噴出對玻璃基板(10)的表面吹送的氣體?；鍖ο蛎?22b)是與被搬送的玻璃基板(10)的氣體所吹...
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