技術(shù)編號(hào):6195935
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及調(diào)整檢查夾具與被檢查基板的位置關(guān)系的基板檢查裝置的對(duì)準(zhǔn)方法以及基板檢查裝置。背景技術(shù)作為這種以往技術(shù),例如有在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中記載的技術(shù)。在該專(zhuān)利文獻(xiàn)I在記載的技術(shù)中,根據(jù)由基板用的照相機(jī)拍攝被檢查基板所得到的拍攝圖像來(lái)取得被檢查基板的位置信息,并根據(jù)由夾具用的照相機(jī)拍攝檢查部具的檢查銷(xiāo)的前端所得到的拍攝圖像來(lái)取得檢查夾具的檢查銷(xiāo)前端的位置信息,根據(jù)這些位置信息來(lái)自動(dòng)地求出被檢查基板與檢查夾具的位置關(guān)系(參見(jiàn)摘要等)。[專(zhuān)利文獻(xiàn)I]日本特開(kāi)2000-...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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