技術(shù)編號：6191762
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型的增強(qiáng)型狹縫光波導(dǎo)外延型光柵FP腔光學(xué)生化傳感芯片，包括自下而上依次層疊鍵合的硅基層、二氧化硅層和單晶硅層構(gòu)成的基體，基體的單晶硅層包含狹縫光波導(dǎo)，狹縫光波導(dǎo)的光信號傳播路徑上包含光柵FP腔，增強(qiáng)狹縫槽位于所述光柵FP腔的兩個光柵之間的區(qū)域，光柵FP腔的光柵為外延型光柵，位于長方形基體外側(cè)，為外凸型齒狀光柵。本實用新型的光學(xué)生化傳感芯片通過在頂部的單晶硅層形成光柵FP腔檢測外界物質(zhì)對光信號的影響，同時引入狹縫光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，使光信號的檢測從傳統(tǒng)的倏逝...
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