技術(shù)編號(hào):6187901
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種可測(cè)豎直位移的三維光柵位移測(cè)量系統(tǒng)涉及一種光柵位移測(cè)量系統(tǒng);該測(cè)量系統(tǒng)包括單頻激光光源、分光部件、偏振分光棱鏡、測(cè)量臂四分之一波片、測(cè)量臂折光元件、參考臂四分之一波片、參考臂折光元件、二維反射式參考光柵、光電探測(cè)及信號(hào)處理部件和二維反射式測(cè)量光柵;所述二維反射式測(cè)量光柵和二維反射式參考光柵表面形貌相同,二維反射式測(cè)量光柵和二維反射式參考光柵的x方向周期和y方向周期均為d;所述測(cè)量臂折光元件和參考臂折光元件的x方向折光角度和y方向折光角度均為θi,且滿足...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。