技術(shù)編號：6184845
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測試領(lǐng)域，尤其涉及一種對半導(dǎo)體產(chǎn)品的開啟電壓的測試方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)場效應(yīng)管包括結(jié)型場效應(yīng)管和MOS型場效應(yīng)管，應(yīng)用非常廣泛。夾斷電壓Vp和開啟電壓Vth是場效應(yīng)管的重要直流參數(shù)。一般，Vth是指增強(qiáng)型場效應(yīng)管的開啟電壓。增強(qiáng)型場效應(yīng)管通過在柵極上加電壓使硅表面反型，然后在漏極上加一定電壓使源漏之間有電流通過。在測試過程中，在柵極上掃描電壓，同時進(jìn)行源漏端流的測試，當(dāng)在漏端電流達(dá)到目標(biāo)電流后(開啟電流)，則認(rèn)為此時的柵端電壓為開啟電壓vt...
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