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光致變形薄膜反射鏡的面形控制及測(cè)量裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6183542

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光致變形薄膜反射鏡的面形控制及測(cè)量裝置,屬于空間光學(xué),為解決現(xiàn)有光致變形薄膜反射鏡的面形控制及測(cè)量裝置系統(tǒng)復(fù)雜,面形控制系統(tǒng)可靠性低和面形控制精度差等問題,本發(fā)明激光器發(fā)射的激光通過第一激光準(zhǔn)直鏡得到準(zhǔn)直的激光,再通過自由空間光隔離器和偏振態(tài)控制器完成偏振方向和偏振態(tài)的調(diào)整,得到單偏振態(tài)的準(zhǔn)直激光,該激光通過分光棱鏡進(jìn)入液晶空間調(diào)制器進(jìn)行小角度偏轉(zhuǎn),再通過偏振旋轉(zhuǎn)器改變偏轉(zhuǎn)方向,而后經(jīng)過雙折射棱鏡掃描輸出到光致變形薄膜的表面完成薄膜拉伸變形,激光經(jīng)過光致變...
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