技術(shù)編號(hào)：6181518
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種石英諧振式壓力傳感器，特別涉及一種硅基雙島結(jié)構(gòu)石英梁諧振式微壓力傳感器。背景技術(shù)市場上壓力傳感器主要有電容式、壓阻式及諧振式，電容式和壓阻式輸出的是模擬量，必須應(yīng)用高精度調(diào)理電路對(duì)微弱信號(hào)進(jìn)行處理，這些因素必然導(dǎo)致測量精度下降；而諧振式壓力傳感器是利用壓力變化來改變物體的諧振頻率，從而通過測量頻率變化來間接測量壓力，其輸出為準(zhǔn)數(shù)字頻率信號(hào)，具有測量精度高，靈敏度高、分辨率高、抗干擾能力強(qiáng)，并且適用于長距離傳輸而不會(huì)降低其精度等優(yōu)點(diǎn)，比較適合對(duì)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。