技術(shù)編號(hào):6177009
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。表面形貌抗振干涉測(cè)量系統(tǒng),包括白光光源,聲光可調(diào)濾光器,第一分光鏡,第二分光鏡,測(cè)量模塊和補(bǔ)償模塊;聲光可調(diào)濾光器依次與驅(qū)動(dòng)器,單片機(jī)掃頻模塊和聲光可調(diào)濾光器與DSP模塊控制單元連接,單片機(jī)掃頻模塊由聲光可調(diào)濾光器與DSP模塊控制單元觸發(fā);測(cè)量模塊包括CCD相機(jī)和計(jì)算機(jī),測(cè)量模塊工作時(shí)單片機(jī)掃頻模塊采用低速掃頻模式,聲光可調(diào)濾光器與DSP模塊控制單元受控于計(jì)算機(jī);補(bǔ)償模塊包括光電探測(cè)器,DSP控制模塊和壓電陶瓷,補(bǔ)償模塊工作時(shí)單片機(jī)掃頻模塊采用高速掃頻模式...
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