技術(shù)編號：6175364
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種高溫壓力感測裝置和一種方法。在一些實施方式中，公開了一種包括相對于溫度的內(nèi)在的零點輸出和值域修正的高溫壓力傳感器。此外，本發(fā)明公開了通過使用朝向高溫壓力傳感器的遠端部定位的中間電路來改進高溫性能的方法以及減小壓力傳感器內(nèi)的熱感生應力的構(gòu)型。公開的實施方式也詳述了減小因壓力傳感器內(nèi)的各種寄生電容而產(chǎn)生的信號損失以改進信號保真度和靈敏度的方法。專利說明電容式壓力傳感器[0001]公開的實施方式大體上針對基于電容的壓力傳感器。背景技術(shù)[0002]...
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