技術(shù)編號(hào)：6172373
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明為了解決某些生物化學(xué)物質(zhì)的探測(cè)問題，提出了一種微環(huán)諧振腔內(nèi)嵌FP腔的光學(xué)生化傳感芯片，該芯片在SOI基體的單晶硅層上包含輸入/輸出直波導(dǎo)和第一諧振腔，第一諧振腔為環(huán)狀波導(dǎo)構(gòu)成的微環(huán)諧振腔，在微環(huán)諧振腔的環(huán)狀波導(dǎo)上還包含光柵FP腔，F(xiàn)P腔的光柵被刻蝕在所述微環(huán)諧振腔的環(huán)狀波導(dǎo)上。通過(guò)采用上述結(jié)構(gòu)，本發(fā)明的光學(xué)生化傳感芯片在達(dá)到相同傳感性能的條件下，減小光學(xué)生化傳感芯片的體積，有利于實(shí)現(xiàn)光學(xué)生化傳感器的微型化與片上傳感系統(tǒng)?？捎糜谏锎蠓肿樱ǖ鞍踪|(zhì)或者是...
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