技術(shù)編號：6172362
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明為了解決某些生物化學(xué)物質(zhì)的探測問題，一種嵌有FP腔的MZ干涉式光學(xué)生化傳感芯片，主要包括MZ干涉單元，所述MZ干涉單元包括兩段光波導(dǎo)，在其中一段光波導(dǎo)上包含有光柵FP腔，所述MZ干涉單元與光柵FP腔具有不相同的自由光譜范圍，二者光學(xué)耦合連接。本發(fā)明的嵌有FP腔的MZ干涉式光學(xué)生化傳感芯片通過在頂部的單晶硅層形成兩個(gè)自由光譜范圍不同，且以光柵FP光學(xué)諧振腔（光柵FP腔）嵌入在MZ干涉結(jié)構(gòu)（MZ干涉單元）的一個(gè)臂（其中一段波導(dǎo)）中相連接的方式形成干涉式光...
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