技術編號:6171937
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及。根據(jù)本發(fā)明的表面異物檢查系統(tǒng)包括在上部面放置被檢物、調(diào)節(jié)所述上部面的高低的平臺部;從所述平臺部隔開、根據(jù)檢查條件照射與所述被檢物的表面平行的檢查用光的光源照射部;可移動地安裝在與所述平臺部在上部方向上隔開的支撐臺、從所述被檢物的表面對散射光進行光接收、對包括所述被檢物的異物信息的圖像信息進行攝影的攝影部;與所述平臺部、光源照射部及攝影部連結,從所述攝影部接收所述圖像信息,檢測表面異物信息的控制部;以及從所述控制部顯示表面異物信息的顯示部。專利說...
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